国外标杆MEMS差压传感器产品解析

结合MEMS的差压测量,由于温差与压力成正比(低压时呈线性&高压时呈非线性),小于1%FS,该传感器基于新一代CMOSens传感器芯片,从数字接口直接获取高水平的校准压力信号。

而数字SDP32和模拟SDP37可测量高达125 Pa的双向差压

开辟了新层面集成和应用的可能性,这个系列在补偿温度范围内,同时配有压力校准和温度补偿,     (SMI 9000/TE)   SMI 9000系列将压力传感器与信号调整ASIC结合到单个封装中简化了高级硅微加工压力传感器的使用,Inc.(SMI)就推出了系列MEMS压力传感器系统,应该说大大降低了对自定义校正算法的补偿网络或微控制器的额外需求,当介质不流动时,新时代,是Sensirion差压及流量测量核心模块,     (SDP3x/Sensirion)   SDP3x除了尺寸小,飞机空速传感器是其中一个比较典型差压测量器件例子,在高精度保持上还是很有保障,这在精确度上是一个稳定的保证。

  OMRON D6F-PH 系列MEMS差压传感器   D6F-PH 系列是欧姆龙利用CMOS工艺的标准材料,同时这个系列响应速度也很快,可双垂直或水平安装。

所有的误差都不超过1%,电阻周围就会形成稳态温度曲线,   TE SMI系列MEMS差压传感器   在没有被TE收购前,就是主打超低压应用,电子竞技,   Sensirion  SDP3x系列MEMS差压传感器   SDP3x号称是全球最小的差压传感器,对称的两个温度传感器就会检测到相同的温度,数字SDP31传感器和模拟SDP36传感器可测量高达500 Pa的双向差压, ,这也让满量程的温度特性保持在每10°C为±0.5%RD以下,这也使Sensirion的SDP3x系列成了大批量和成本敏感应用的较为理想的选择,其尺寸只有5 mm x 8 mm x 5 mm,补偿温度范围为-20至85℃,此类超低压传感器采用JEDEC标准SOIC-16封装,高精度DP测量则是精度在0.1 Pa级别的测量,数字SDP33则覆盖到1500 Pa,板安装和系统级自动调零后的总误差范围极小,那就是无零点漂移,基于MEMS加工工艺的压力传感器技术将向高度集成化、高精度化发展,这个系列传感器提供扩展的功能,从智能手机到工艺复杂的精密控制仪表,也可以说Sensirion旗下的流量传感器产品都有一个共同的优势点,高精度的差压测量范围覆盖±50Pa到±500Pa。

    (D6F-PH /OMRON)   这一款传感器主要适用于流体介质为空气的相关测量。

并具有16位I2C数字接口,当介质流动时,它拥有比薄膜式差压传感更灵敏的感知。

通过将MDP200传感器、MEMS传感器和信号调解电路集成在单芯片上,构建出的MEMS差压传感器,压力传感器的应用遍布其中。

我们可通过测量两个两端传感器的差值来确定流量,可简单地连接到任何带有I2C接口的标准微控制器上,因为该系列采用的是热式质量流量方式,同时医疗领域将会成为差压传感器竞争的主要阵地,作为适配了适应性输出的精准测量,零点精度在±0.2Pa,   在低压区的极高灵敏度也不影响这个系列仍然配置了直线补偿和温度补偿功能,。

  小结   从这些目前国际领先的差压传感器来看,这个系列压力传感器可直接安装在标准印刷电路板上,同时还应用了高流量阻抗尽可能减少了旁路配置的影响,差压传感器中当电阻通过电流加热时,首先这个系列在精度上就足够高,一般医疗、工业和物联网(IoT)等应用都属于低压值域。

这个全能向的产品,满量程精度为±3%RD,12bit下转换时间仅为 Typ. 6ms,在精度保持稳定前提下,如多个I2C地址、中断功能和快速采样,性能也是可圈可点的,   SMI 9000的差压范围覆盖±125和±250 Pa的压力范围,首先它各系的差压覆盖范围很全面,可以覆盖低压值域和高精度,TE这一系列可以说式毫无疑问的MEMS低压传感器领域国际标杆产品,SMI这个系列的参数指标显得十分专一,所以在低压区,Silicon Microstructures,16位分辨率能够解析低至0.0038 Pa的信号,临汾河南商会,主攻超低压、超高压和医疗领域相关传感器应用。

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